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  • 晶圓加熱裝置

    晶圓加熱盤,晶圓加熱裝置在半導(dǎo)體制程過程中非常重要,特別是在一些關(guān)鍵工藝中,如晶圓退火、鍵合、勻膠、刻蝕、氣相沉積等,它可以提供穩(wěn)定的溫場環(huán)境及精密的盤面均勻溫度,確保晶圓在各種溫區(qū)中的加熱要求,從而實現(xiàn)半導(dǎo)體器件的制造和研發(fā)。

    更新日期:2024-09-24
    訪問量:2539
    廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
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